可先用氮氣或其它惰性氣體將設備壓力提高， 然后用純氦氣或氦氣混合氣把測試設備的內(nèi)壓增加至測試壓力且 應使設備內(nèi)部至少含有10%-20%的氦氣含量。隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量的重視，氦質(zhì)譜檢漏儀的方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應時間也不同，所以噴氦氣應先從靠近檢漏儀的一側開始由近至遠進行。
氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負壓法。負壓法就是常說的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏主要領域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng)；對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。
氦質(zhì)譜檢漏主要領域：原子能工業(yè)——氣體擴散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；氦質(zhì)譜檢漏設備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。
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